İlk elektronlu mikroskobun serüveni 20. yüzyılda başladı
Elektron mikroskobunun serüveni, 20. yüzyılın başlarında ilk elektromanyetik lensin icadıyla başlamıştır. Bu lensin özelliklerini kullanarak canlı ve cansız yapıların daha detaylı incelenebilmesi elektron mikroskop ile mümkün olmuştur. İlk elektromanyetik lensi HansBusch 1926’da icat etti ve 1928’de lensin patentini alsa da elektron mikroskobunu kendisi icat etmedi.Elektron mikroskobunu 1931’de Berlin Üniversitesi’nden fizikçi ve elektrik mühendisleri ErnstRuska ve MaxKnoll icat etti. Bu prototip 400 kat büyütme gücüne sahipti ve elektron mikroskop ile neler başarılabileceğini gösteren ilk icattı.1933’te ErnstRuska orijinal modelin daha üst seviyesi olan ve optik mikroskopa göre daha fazla çözünürlüğe sahip bir elektron mikroskop üretti. 1937’de BodovonBorries ve HelmetRuska, kendisine katılıp biyolojik örneklerin incelenmesi gibi uygulamalar yapabilmek için yardımcı oldular. Aynı yıl içerisinde ManfredvonArdenne ilk scanning taramalı elektron mikroskobu (scanningelectronmicroscope, SEM) geliştirdi.Siemens-Schuckertwerke 1938’de halka ilk ticari elektron mikroskobu sundu.